かつてクリーンルームの規格は、各国で独自の規格を定めていましたが、その中でも米国で制定された米国連邦基準Fed-Std-209[個/1ft3]が多く使用されていました。この基準では1立方フィート内の空気中に存在する粒径0.5μm以上の粒子の数により清浄度クラスを表しています。日本では1975年に日本工業規格『JIS　B9920』が制定され、1立方メートル内の空気内に存在する微粒子の数を10のべき乗数で表したべき指数を基準としています。近年では国際標準化が進み、1999年に国際規格として『ISO14644-1』が制定され、日本でも2002年に『JIS B9920』が一部改正されています。現在の『JIS B 9920』で制定されている清浄度クラスは以下の通りです。

■日本 JIS B9920清浄度クラスの上限濃度（個/m3）

粒径（μm） 1	清浄度クラス
	クラス1	クラス2	クラス3	クラス4	クラス5	クラス6	クラス7	クラス8
米国連邦規格 209との対応	ー		1	10	100	1000	10000	100000
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2360	23600	ー
0.3	1	10	101	1010	10100	101000	1010000	10100000
0.5	(0.35)	(3.5)	35	350	3500	35000	350000	3500000
5.0	ー				29	290	2900	29000
粒径範囲	0.1~0.3		0.1~0.5		0.1~5.0	0.3~0.5