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クリーン環境・制電環境 整備のポイント!と導入事例

どのような商品がどのような場所で使用されているか、3つのシーンにわけて紹介します!使用する場所によって、どのような商品が適しているのかのヒントとしてお役立て下さい。

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クリーンルームの規格について

かつてクリーンルームの規格は、各国で独自の規格を定めていましたが、その中でも米国で制定された米国連邦基準Fed-Std-209[個/1ft3]が多く使用されていました。この基準では1立方フィート内の空気中に存在する粒径0.5μm以上の粒子の数により清浄度クラスを表しています。日本では1975年に日本工業規格『JIS B9920』が制定され、1立方メートル内の空気内に存在する微粒子の数を10のべき乗数で表したべき指数を基準としています。近年では国際標準化が進み、1999年に国際規格として『ISO14644-1』が制定され、日本でも2002年に『JIS B9920』が一部改正されています。現在の『JIS B 9920』で制定されている清浄度クラスは以下の通りです。

日本 JIS B9920清浄度クラスの上限濃度(個/m3

粒径(μm)
1
清浄度クラス
クラス1 クラス2 クラス3 クラス4 クラス5 クラス6 クラス7 クラス8
米国連邦規格
209との対応
1 10 100 1000 10000 100000
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (0.35) (3.5) 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0 29 290 2900 29000
粒径範囲 0.1~0.3 0.1~0.5 0.1~5.0 0.3~0.5