68-0580-92 ［取扱停止］ウェーハ搬送ロボット 円筒座標型クリーンロボット PHT-R-4
特徴
- 本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
- 前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
- 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
仕様
- 設置環境：クリーンルーム内 大気中 温度10℃～35℃ 湿度70％RH以下
- アーム：シングルアーム 材質/アルミ・CFRP・セラミック
- 動作範囲 X軸：500mm θ軸：340deg Z軸：300mm ハンド回転：0～180°
- 動作速度（最速）X軸：500mm／sec θ軸：200deg／sec Z軸：250mm／sec ハンド回転：180deg／sec
- 可搬質量 3kg（ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計）
- ロボット標準仕様
- ロボット型式：PHT-R-4-2022
- 被搬送物：～300mmウェーハ（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
- ウェーハ保持方式：真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド
- 機械構造形式：水平多関節型 円筒座標系
- 制御軸：4軸
- モータタイプ：ACサーボモータ アブソリュートエンコーダ仕様
- 重量：本体重量：約47Kg コントローラ：約8Kg
- 制御ケーブル：3m（標準）・5m・10m
- 制御仕様（1）：パラレルインターフェース 入力32点 出力32点
- 制御仕様（2）：シリアルインターフェース RS-232C×1回線
- 繰り返し精度：±0.1mm 以下
- クリーン度：ISO クラス 2 （0.1μm以上 10個/m3以下）
- ユーティリティ：定格電圧：単相 AC200～230V±10％ 定格電流：5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上
- 【コントローラ仕様】
- コントローラ型式：MFD
- インタフェース：RS232C 1回線 デジタルIO 入力：32点・DC24V 8mA 出力：32点・DC24V±3V 0.1A以下
- ※ご納品は車上渡しとなります。搬入設置・動作確認も可能ですのでご必要の場合は別途お問い合わせください。
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