63-4269-02　［取扱停止］TMP蒸着装置　VE-2030

特徴

• 1歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。ターボモレキュラーポンプ（TMP）排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
• TMPはロータリポンプ（RP）から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。
• EVACSTARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
• VE-2030には多彩な付属装置（オプション）が用意してあります。ご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。
• ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。

仕様

• 電源：AC100V（単相100V15A）
• 装置サイズ：W500mm×D574mm×H1070mm
• 装置重量：80.3kg（RP内蔵）
• 真空度測定：フルレンジ真空計
• 排気系：TMP80L/min、RP50L/min
• 試料ステージ：直径60mm
• 真空槽：内径200mm×高さ270mm
• 下部高さ110mmは金属製、内径55mmのサービスポートを搭載。