68-4536-46 TMP蒸着装置 VE-2050
特徴
- 真空排気系は冷却水不要のTMP+RPと全電磁バルブよりなる全自動排気系です。
- タッチパネル操作で誤った手順で操作が出来ない安全機能搭載。
- TEMやSEMの絞り類のベーキングも短時間で完了し、時間の節約になります。
- メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。
- カーボンコーティングも丈夫で緻密な蒸着膜になります。
- カーボン補強や支持膜作成に効果を発揮します。
- 停電時は全バルブが自動で閉じ、真空が保持されます。ロータリポンプのみ自動的にエアリークされます。停電が回復したら初期画面に戻ります。
- 入力スイッチはサーキットプロテクタです。装置内で過電流が発生すると自動的にOFFになります。
仕様
- 真空槽：内径200×高さ248mm（ICF70サービスポート）
- 試料ステージ：直径58mm 水平試料台（標準装着）
- モーター駆動、回転・傾斜試料台はオプション
- 加熱用電極柱：2対4本
- ヒータ電源：最大電流／80A（標準ボート使用時）、電流計指示
- 蒸着可能面積：上からの蒸着時（柱利用）／直径90mm以内、下からの蒸着時／直径180mm程度まで
- 真空排気系統：TMP（67L／sec）+ロータリポンプ（50L／min）
- 真空度測定：フルレンジ真空計（標準装備）
- 到達真空度：5×10-4Pa以下
- 入力電源：AC100V 15A（単相）
- 装置サイズ：幅534×奥行き675×高さ1134.5mm
- 重量：80kg
- 荷姿サイズ：534×675×1134mm 80.00kg
