特徴
- 半導体や液晶装置で使用されるTEOS 等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。
- バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート（ASSY) 部の交換をユーザーサイドで可能としました。
- 定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。
- シート（ASSY）部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。
- アクチュエーター径φ39.7mm で、ラインピッチ40mm に対応可能です。
仕様
- 手動 1/4"CVCオス 内面電解研磨
- 荷姿サイズ：100×130×75mm 0.34kg [荷姿サイズについて]
- 参考コラム「耐薬品性一覧表」
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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