特徴
- 三極管型メタル電離真空計で真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命です。
- 測定精度±10％で、感度の安定性も向上しています。
- 大気圧から高真空領域（1×10^-5～1×10^5）の測定が可能（SPU・SAU同時使用の場合）です。
- ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気等ハードなプロセスでの使用に適しており、長寿命の測定子のためランニングコストの低減が可能です。
仕様
- 測定範囲（Pa）：1×10^-5～1×10^5
- モード：ST2+SPU+SAUコンビネーションモード
- 外寸法：ST2+測定子/75×62×184mm、ISG1/48×70×96mm、SPU+測定子/φ40×133mm、SAU+測定子/φ30×67.5mm
- 使用温度範囲：10～50℃
- 測定値出力：出力電圧/DC0～10V、LOG出力/0.75V/1桁
- 測定精度：1×10^-4～3Pa/±10％、3～ 1×10^+3Pa/±15％、1×10^+3～3×10^+3Pa/±30％、1×10^+4～1×10^+5Pa/±3％F.S.（3×10^+3Pa ・基準温度25℃）
- 電源電圧：DC24V、AC 100～240V（ACアダプター使用時））
- タイプ：
- ST2：電離真空計
- SWT-25（NE25）：電離真空計測定子
- ISG1：表示器（ACアダプター付）
- SPU（NW16）：ピラニ真空計（0.5mケーブル付）
- SAU（NW16）：大気圧センサ（0.5mケーブル付）
- ディスプレイケーブル：5m（表示器・本体間ケーブル）
- 荷姿サイズ：550×340×360mm 3.00kg
