3-6054-28 電離真空計 ST200-A(SWT-25+SWU10-R+SAU)&ISG1
[ULVAC, Inc.] Ionizing Vacuum Meter
特徴
- 異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
- コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56％削減）、世界最小クラス
- ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
- ラインアップの充実：アナログ出力仕様（ST200-A）、シリアル通信仕様（ST200-R）に加え、EtherCAT仕様（ST200-E）を追加予定
- 世界初の三極管型メタル電離真空計（特許申請中）：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
- フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
- 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10+5～1×10-5Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）
- 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時）
仕様
- 測定範囲（Pa）：1.0×10^-5～1.0×10^5
- モード：ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード
- 入数：1個
- 外寸法：ST200+測定子／69×63×120mm、ISG1／48×70×96mm、SWU10-R+測定子／Φ40×81mm、SAU+測定子／Φ30×67.5mm
- 使用温度範囲：ST200-A（10～50℃）
- 測定値出力：出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
- 測定精度：1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10％（ST200-A単体モード）、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10％ 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20％（ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード）、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10％ 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3％F.S.（3.0×10^3Pa・基準温度25℃）（ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード）
- 電源電圧：DC20～28V（リップル、ノイズ1％以下）8W以下
- SWT-16（NW16）・SWT-25（NE25）：電離真空計測定子
- ISG1：表示器
- SWU10-R：ピラニ真空計（0.5mケーブル付き）
- SWP-16（NW16）：ピラニ測定子
- SAU（NW16）：大気圧センサ（0.5mケーブル付き）
- ディスプレイケーブル：5m（表示器・本体間ケーブル）
- ACアダプター付属
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
