特徴
- 300mmウェハー工程内容器（ハイブリッドFOSB）です。
- 出荷用には使用できません。
- オートドア仕様です（手動開閉はラッチキーが必要）。
- ウェハー押さえにPEEKを使用しています。
- ラッチ数が少なく発塵が少ないです。
仕様
- 型番：KT-3002HB
- ウェハー径（mm）：300
- 収納枚数：25枚
- 材質：PC（ポリカーボネート）
- D1寸法：44mm
- 溝ピッチ：10mm
- フィルター（1枚）付き
- SEMI規格準拠
- 荷姿サイズ：335×395×360mm 4.20kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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