特徴
- フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。
- 主要部分には導電化材料を使用しています。
- 本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。
仕様
- 型番：KT-3003
- ウェハー径（mm）：300
- 収納枚数：26枚
- D1寸法：44mm
- 溝ピッチ：10mm
- SEMI規格準拠
- 荷姿サイズ：405×495×415mm 5.90kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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