特徴
- ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。
- 同時に3台(FMC-1)または4台(FMC-2)コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。
- 流量管理がしやすいレギュレーターです。
- 操作性に優れ扱いやすいです。
- 安定した作業環境を提供します。
仕様
- タイプ:4連式
- サイズ(mm):280×133×190
- <圧力調整バルブ>
- 対象ガス:Ar・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類
- 1次圧力:約0.98MPa(10kg/cm2)MAX
- 流量:30L/minMax
- 2次圧力:0~約0.49MPa(0~5kg/cm2)
- 接続チューブ外径:Φ6mm<流量計>
- 流量:10L/minMAX
- 耐圧:約0.69MPa(7kg/cm2)
- 耐熱:60℃MAX
- 接続チューブ外径:Φ6mm
- ハウジング:PMMA(アクリル)
- 荷姿サイズ:370×220×300mm 3.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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1-3167-02
流量計付レギュレーター 4連式
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1-3167-01
流量計付レギュレーター
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よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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