1-3167-02　流量計付レギュレーター　4連式　FMC-2

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特徴

• ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。
• 同時に3台（FMC-1）または4台（FMC-2）コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。
• 流量管理がしやすいレギュレーターです。
• 操作性に優れ扱いやすいです。
• 安定した作業環境を提供します。

仕様

• タイプ：4連式
• サイズ（mm）：280×133×190
• ＜圧力調整バルブ＞
• 対象ガス：Ar・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類
• 1次圧力：約0.98MPa（10kg/cm2）MAX
• 流量：30L/minMax
• 2次圧力：0～約0.49MPa（0～5kg/cm2）
• 接続チューブ外径：Φ6mm＜流量計＞
• 流量：10L/minMAX
• 耐圧：約0.69MPa（7kg/cm2）
• 耐熱：60℃MAX
• 接続チューブ外径：Φ6mm
• ハウジング：PMMA（アクリル）
• 荷姿サイズ：370×220×300mm　3.00kg [荷姿サイズについて]