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エアーシャワー・パスボックス

エアーシャワーは、クリーンルームへの入室時に作業者や物品から微粒子や汚染物質を除去するための装置です。
高圧の清浄空気が噴射され、作業者の衣服に付着した微細粒子を除去します。 パスボックスは、クリーンルーム内外で物品を移送する際の汚染防止装置です。ダブルドア構造で、一方のドアを開けている間はもう一方がロックされ、気流と汚染物質の侵入を防ぎます。

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