特徴
- ポケットピッチ・サイズともにKMシリーズと同じで、搬送移送できます。
- 開孔面積を広く取り、洗浄性を強化しています。
- ピッチを狭くし、一度に52枚ウェハーを収納可能です。
仕様
- 型番：K-30-52
- ウェハー径（mm）：76（3″）
- サイズ（mm）：A1/152、A2/93.6、A3/83、D1/15.28、B2/2.38、D6/38.5、D6g/47.5
- 収納数：52枚
- 材質：セミプラスト(R)A（PFA）
- 荷姿サイズ：95×155×85mm 0.36kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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7-177-21
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-22
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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6-7987-47
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-04
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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7-177-05
ウェハーキャリア（PFA） 3インチ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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