特徴
- 剛性を重視し、カセット下部の溝形状に独特の構造を持った洗浄・エッチング用キャリアです。
仕様
- ウェハー径(mm):125(5″)
- サイズ(mm):A1/142.24、A2/153、A3/146、D1/13.97、B2/4.76、D6/108、D6g/118
- 収納数:25枚
- 材質:セミプラスト(R)A(PFA)
- 荷姿サイズ:155×145×150mm 0.86kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
7-177-09
ウェハーキャリア(PFA) 5インチ
|
|
|
7-177-12
ウェハーキャリア(PFA) 5インチ
|
|
|
6-7987-26
ウェハーキャリア(PFA) 5インチ
|
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|






