69-8306-13　空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ [機体寸法/504×404×191mm]　MRZ-330M

特徴

• FPD製造装置等大型装置向アクティブ除振装置のロープライス化を実現しました。
• 多くの納入実績を持つMAPSシリーズ。
• その中でも特に要望の多かったMAPS-130、240の性能はそのままに、一から設計を見直し、MRZシリーズを開発・実用化しました。
• 主な用途
• FPD・半導体製造装置、電子顕微鏡・真空関連装置、測定機器、超精密加工機、etc.
• 6自由度アクティブ制御
• 垂直・水平の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプ
• パッシブ除振では難しい帯域の振動も除振します。
• アクティブ状態でFB+FloorFF制御を行います。
• FB：フィードバック制御系
• FloorFF：床振動フィードフォワード制御系
• StageFF：ステージフィードフォワード制御系（オプション）
• 「軽量・コンパクト」「低消費電力」
• ユニットの軽量・コンパクト化、消費電力の低減を実現しました。
• 特許取得済
• 特許第5457821号

仕様

• 適用分野
• 計測・計量機器
• 半導体製造・精密加工
• 搭載可能質量（4ユニット使用時）[kg]：4000～12800
• 機体寸法（W×D×H）[mm]：504×404×191
• ユニット質量[kg/個]：60
• 供給空気圧[MPa]：0.6～0.8（Clean dry air）
• 定常空気消費量[L/min]：120～170
• 最大空気消費量[L/min]：300
• 電源電圧[V]：100～240（AC単相、50/60Hz）
• 最大消費電力[VA]：120
• 周囲温度[℃]：0～40
• 周囲湿度[%RH]：35～85
• 除振・制振方式：空気圧制御による振動制御
• コントローラ寸法（W×D×H）[mm]：435×300×118
• コントローラ質量[kg]：7.5
• ※この商品は別途送料等がかかります。