特徴
- 真空チャンバの大気開放制御用の通電時閉形電磁弁です。
- OFFディレイ機能により停電時に真空チャンバーをオイルあがりの汚染から守ります。
- 停電時に真空チャンバーをオイルあがりの汚染から守る用途に
仕様
- 接続口径：1/4二重くい込み継手
- 電源（V）：AC100
- ポート数：2
- 使用流体：空気、窒素
- 流体温度（℃）：5～50
- Cv値：0.05
- Bポート接続口径：Rc1/8
- 使用圧力（Pa（abs））：1.3×10-6～2.0×105
- 弁座漏れ（Pa・m3/s（He））：1.3×10-9以下
- 外部漏れ（Pa・m3/s（He））：1.3×10-9以下
- 取付姿勢：自在
- 頻度：0.5回/分以下
- 最大設定遅延時間（sec）：8
- 消費電力（W）：4
- レギュレータとオイルミストフィルタのユニット
- 原産国：日本
- コード番号：689-9599
- 荷姿サイズ：190×95×150mm 0.70kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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