特徴
- X軸、Y軸の2軸の移動ができます。
- 4種類のステージサイズ。
- アルミニウム製。軽量です。
- 移動ガイドはV溝レールとクロスローラ方式を採用。高精度です。
- マイクロメータによる送り方式。送りの表示分解能は0.01mmです。
仕様
- ステージ面：60×60
- 移動ガイド：V溝レールとクロスローラ方式
- 移動量：±6.5
- 質量（g）：600
- 真直度：0.003
- ピッチング：25"
- ヨーイング：15"
- 平行度：0.05
- 移動平行度：0.02
- 表示分解能：0.01
- 位置分解能：0.003
- 許容荷重（N）：58.8
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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