特徴
- 4種類のステージサイズ。
- アルミニウム製。軽量です。
- 移動ガイドはV溝レールとクロスローラ方式を採用。高精度です。
- マイクロメータによる送り方式。送りの表示分解能は0.01mmです。
仕様
- ステージ面:60×60
- 移動ガイド:V溝レールとクロスローラ方式
- 移動量:±6.5
- 質量(g):300
- 真直度:0.003
- ピッチング:25"
- ヨーイング:15"
- 平行度:0.03
- 移動平行度:0.01
- 表示分解能:0.01
- 位置分解能:0.003
- 許容荷重(N):58.8
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
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