特徴
- FPD製造装置・半導体製造装置など、クリーンルーム内の真空装置・真空容器に。
- クリーン洗浄済み。油やゴミの付着していないクリーン仕様です。
- SWAS-VF-PC は特殊化学研磨処理により、表面粗さを改善。放出ガスが極微量です。
- 六角穴付きボルト(ガス抜き用穴つき)SVSS と組み合わせてご使用ください。
仕様
- 表面処理:表面処理なし
- 呼び:5
- d:5.3
- D:10
- t:1
- 質量(g):0.4
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
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