特徴
- 片側おねじ・片側めねじの六角支柱。
- 2つ以上の六角支柱を組み合わせて使用することもできます。
- FPD製造装置・半導体製造装置など、クリーンルーム内の真空装置・真空容器に。
- クリーン洗浄済み。油やゴミの付着していないクリーン仕様です。
- SHVAS-PEは電解研磨処理により、表面粗さを改善。放出ガスが極微量です。
仕様
- 表面処理：表面処理なし
- M：M3
- L±0.1：15
- B：6
- C（約）：6.9
- L1：4.5
- L2：6
- d1：1.2
- d2：1.5
- 質量（g）：3.5
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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