特徴
- 水晶式膜厚計用スタンダードセンサー
- 膜厚モニター STM-2で使用可能
- センサー、センサーフィードスルー、水晶振動子が別途必要
- Ultra-Torr仕様でセンサー長の可変が可能
- 要水冷
仕様
- センサーフィードスルーとの接続：Ultra-Torr
- センサー長調整範囲：20.3～71 cm
- 水晶振動子サイズ：直径14mm
- 水晶振動子測定開始周波数：6MHz
- センサー装着数：1枚
- 水冷：水温 30℃以下、流量 150～200 sccm
- サイズ：27×62×18mm
- 製品保証：出荷日より1年
- 荷姿サイズ：780×200×40mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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