69-3147-06　6インチシリコン薄ウェハ（SEMI）30μm厚 両面ミラー 研究用 [P（100）、1-100Ω、] 1箱（5枚入）

特徴

• 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

仕様

• サイズ：6インチシリコンウェハ
• ウェハー厚（μm）：30±5（保証不可）
• 製造方法：CZ法
• 導電型：P型
• 面方位：100
• 抵抗値（Ω・cm）：1～100Ω・cm
• OF：57.5±2.5mm
• 面状態：両面ミラー
• TTV（μm）：≦5（保証不可）
• ※特注対応品：
• 方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
• 多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
• ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
• ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
• 荷姿サイズ：300×300×200mm　1.00kg [荷姿サイズについて]