68-7022-01 小型多目的HEPAフィルターユニット EC-MAC 半導体製造装置向け 約120W MAC-IIA-150EMC-PTFE
[AIRTECH JAPAN, LTD.]
特徴
- MAC-Ⅱaシリーズの半導体製造装置向けユニットです
- 高効率DCブラシレスモーターを採用した省電力型です
- 液晶、半導体等の製造装置に組み込み高い清浄度を確保します
- EMC試験（CEマーキング）対応品です
- 自己宣言規格品です（*EN60204-1：2018、EN61000-6-4：2007+A1：2011、EN61000-6-2：2005）
- 電源確保が容易なAC100～200V（単相）電源が使用可能です
- 海外での使用にも対応しています
- 風量5、8、15m3／minの仕様があります
- 運転信号および異常信号の出力が可能です
仕様
- 集塵効率：0.1～0.2μm（シリカ）粒子にて99.9999％以上
- 集塵要素：メインフィルター／PTFEフィルター
- 処理風量（m3／min）：約15
- 平均吹出風速 （m／s）：0.37
- 電源：AC100V～240V 1φ 50／60Hz（駆動電源はDC24V）
- 消費電力（W）：約120
- 重量：約21.9kg
- 構造：SUS430
- 付属品： 機器取付用パッキン
- ※吹出風速は吸込風量より算出
- ※配送費が別途必要となりますのでお問合せください
- 荷姿サイズ：1500×800×500mm 21.90kg [荷姿サイズについて]
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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68-7021-99
小型多目的HEPAフィルターユニット EC-MAC 半導体製造装置向け 約100W
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68-7022-01
小型多目的HEPAフィルターユニット EC-MAC 半導体製造装置向け 約120W
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68-7021-98
小型多目的HEPAフィルターユニット EC-MAC 半導体製造装置向け 約35W
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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