特徴
- 極微量分析、半導体洗浄に適した水質を安定供給
- 水銀フリーUVランプ
- 高機能ディスペンサー
- 徹底したコンタミネーション対策
仕様
- 採水水量（最大）：120L/h
- 処理水水質
- 比抵抗値：18.2MΩ・cm
- TOC値：≦1ppb
- メタル：≦0.01ppt
- シリカ：≦50ppt
- ホウ素≦1ppt
- 微粒子（50nm）≦1個/mL
- ※メーカー分析部門による評価結果。
- メタル、ホウ素、微粒子はオプションカートリッジを採用
- 純水タンク容量：60L
- 定格電圧・周波数：AC100V～AC240V±10％、50～60Hz共通
- 電源容量：210VA
- 荷姿サイズ：435×742×1248mm [荷姿サイズについて]
- 参考コラム「純水と超純水のちがい、定義から作り方まで。」
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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