特徴
- ウルトラクリーン対応：オールメタル構造を採用
- 微小流量から大流量までの流体制御が可能
仕様
- 流量レンジ：10／20 LM （入口大気圧、出口真空、N2換算）
- 流量制御範囲：フルスケールの2～100％
- バルブ方式：ノーマルオープン／クローズ型
- 制御入力：10～5VDC
- 応答性：0.5秒以内
- 使用温度：0～50℃
- 使用圧力：MAX.300kPa
- 耐圧：1MPa
- リーク規格：5×10-12Pa・m3（He）
- 高温対応モデルラインアップ：PV-1000S／2000Sタイプ
- RoHS指令適合（2024年5月時点）
- 荷姿サイズ：206×58×206mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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