特徴
- 高品質なSiCウェーハを販売いたします。
- テスト・研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様
- Diameter：145.5～150.0mm
- Wafer Orientation：Off axis：2.0°-4.0°toward[1120]±0.5°for 4H／6H-P, On axis：〈0001〉±0.5°for 3C-N
- Thickness：350μm±25μm
- Resistivity：～0.3Ω・cm
- Primary Flat Orientation：{1010}±5.0°
- 荷姿サイズ：200×210×260mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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68-5154-42
6インチ ダミーグレード 6H-P型 SiCウェーハ 1箱(25枚入)
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68-5154-41
6インチ ダミーグレード 6H-P型 SiCウェーハ 1箱(2枚入)
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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