68-5053-77　流水式洗浄機 振動子標準ノズル付　W-357-1MPG-SET

特徴

• 定電力発振器採用のパルスジェットタイプ洗浄機です。
• 主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。
• 放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。
• 流水式のためパーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。
• 用途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。
• パーティクルの再付着を抑えて微細な汚れを洗浄します。
• ＜発振器無調整＞
• 同一仕様振動子標準ノズルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。
• ＜幅広い電源入力＞
• 電源入力AC100V～240Vに対応しています。
• ＜定電力発振＞
• 振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。
• 振動子への供給エネルギーを一定にするために定電力で制御します。
• 水温、周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。
• ＜異常検出機能＞
• 発振器とノズルの異常状態をアラーム出力により監視が可能です。
• ケーブルの断線／短絡、電力異常、過電流、流水の不足が検出可能です。
• ＜出力監視＞
• RS422に対応し、外部出力可変が可能です。
• 電力出力値を4-20mAでも出力します。