68-4088-82 ［取扱停止］GaN基板 2インチ自立基板 ダミーグレード Nタイプ（undoped） （両面鏡面） GaN-FS-C-U-C50-DSP
特徴
- 高品質の単結晶GaN基板
仕様
- ※ダミーグレード
- 直径： 50.8 ± 1mm
- 厚さ： 350 ± 25 μm
- 第1オリフラ： （1-100）±0.5° オリフラ長16.0±1.0mm
- 第2オリフラ： （11-20）±3° オリフラ長8.0±1.0mm
- 抵抗率（300K）： ＜ 0.5 Ω・cm
- TTV/反り： 15μm以下 / 40 μm以下
- Ga面仕上げ： Ra＜0.2nm エピ研磨
- N面仕上げ： ファイングラウンド
- 梱包形態： クリーンルームで包装。シングルケースに1枚毎に梱包
- 使用可能面積： ＞70％
- 転移密度： ＜3x10^6 cm-2
- 面方位： M軸に対して、C面（0001） 0.35±0.15°オフ
- マクロ欠陥密度（hole）： ＜ 1 cm-2
- 荷姿サイズ：60×60×30mm 0.10kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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68-4088-81
GaN基板 2インチ自立基板 ダミーグレード Nタイプ（Si-doped） （片面鏡面）
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68-4088-82
GaN基板 2インチ自立基板 ダミーグレード Nタイプ（undoped） （両面鏡面）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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