68-4088-77　［取扱停止］単結晶SiCアズスライスウエハ 4インチ・4H-N（プロダクショングレード）

特徴

• 高品質の単結晶SiCアズスライスウエハ

仕様

• 結晶タイプ： 4H-SiC
• 導電型/ドーパント： Nタイプ、窒素
• グレード： プロダクショングレード
• 直径： 4インチ
• 厚さ： 480 μm±15 μm
• オフ角度： ＜11-20 ＞に対して4°±0.5°
• レーザーマーク： C面（裏面）側に有り
• 梱包形態： シングルウエハケースに1枚毎に梱包
• 荷姿サイズ：160×160×30mm　0.10kg [荷姿サイズについて]