68-4088-72　単結晶SiCインゴット 6インチ・4H-N（ダミーグレード）（厚み10^15mm）

特徴

• 高品質の単結晶SiCインゴット

仕様

• ポリタイプ： 4H-SiC
• 直径：（150 ± 0.2） mm
• 厚み：10～15mm
• 導電型： N タイプ
• ドーパント： 窒素
• 比抵抗値： 0.015～0.028Ω-cm （面積75％以上）
• マイクロパイプ密度（MPD）： 2 個/cm2 以下
• オフ角度： [11-20]に対して4° ± 0.5°
• オリフラ有り、長さ：47.5mm ± 2.0mm
• 外周加工済
• 梱包方法： シングルケース、真空パッケージ
• 荷姿サイズ：160×160×100mm　0.50kg [荷姿サイズについて]