特徴
- 高純度材料を用いたガラスを少量からご提供
- 方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
- 多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。
- ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
- ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
仕様
- サイズ(mm):50×50mm
- 厚み(μm):500±25
- 面状態:両面ポリッシュ
- 面取り:無
- 縁チッピング(mm):<0.1
- 荷姿サイズ:200×210×190mm [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
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