67-9258-95　［取扱停止］CRSガス精製フィルター ZPure™M HC 3800cc ステンレス1/2" VCR　202232M-V

特徴

• ZPure™M （超大容量ガス精製フィルター）
• ZPure™M ガス精製フィルターは3,800 ccの大容量で除去容量が大きく、かつ大流量で使用できます。
• 形状は円筒形で316ステンレス製、接続部分は1/2"VCRと1/4"コンプレッションフィッティング接続を採用しています。
• ZPure™M フィルターには、炭化水素、水分、酸素/水分フィルターおよびPolyGas IIの除去タイプを用意しています。
• 不活性ガス、He、Ar、N2、H2 をより大容量で精製することができます。
• 汚染物質を含まない高純度ガスを必要とするあらゆるアプリケーションに推奨します。とくに半導体用途で多く採用されています。

仕様

• 除去対象物質：炭化水素（HC）
• 容量：3800cc
• 【除去容量：（標準-最大）】
• HC：327 - 1,060 g
• 【性能：（ppb）】
• HC ＜ 5 ppb
• 最大圧力：不活性ガス/Air/N2は150 psi （1.03 MPa）, H2/O2は80 psi （0.55 MPa）
• 流量（標準-最大）：30000 - 200000 mL/min
• 本体サイズ：10 cm x 64 cm
• 接続サイズ：1/2" VCR
• 接続金具材質：ステンレス
• 接続用フェルール付属
• 重量約10.5kg
• 荷姿サイズ：720×210×210mm　10.50kg [荷姿サイズについて]