67-8063-77　オスミウム・プラズマコーター オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ　OPC80T

特徴

• SEM試料用の導電性薄膜作製装置
• 特許取得済み（第3913296号、第5224347号、第5419723号）の製膜法により、優れた膜厚再現性を実現
• 粒状性のないオスミウム薄膜
• 試料への熱ダメージがない
• ナフタレンを用いたプラズマ重合膜の製膜はフィルジェンだけ
• 独自開発のオスミウムトラップフィルターにより、ロータリーポンプからの排気は環境基準をクリア

仕様

• 生成膜厚：数nm～数100nm
• 生成膜：オスミウム薄膜およびプラズマ重合膜（ナフタレン）
• 450（w）×410（D）×390（H）mm
• ※メーカーによる現地据付調整サービス（有償）もございます。ご希望の際はお問い合わせください。