特徴
- SEM試料用の導電性薄膜作製装置
- 特許取得済み（第3913296号、第5224347号、第5419723号）の製膜法により、優れた膜厚再現性を実現
- タッチパネルによる簡易な操作性
- 粒状性のないオスミウム薄膜
- 試料への熱ダメージがない
- 独自開発のオスミウムトラップフィルターにより、ロータリーポンプからの排気は環境基準をクリア
仕様
- 操作：タッチパネル
- 生成膜厚：0.5nm～数100nm
- 生成膜：オスミウム薄膜
- 外形寸法：400（W） x 350（D） x 330（H） mm
- ※メーカーによる現地据付調整サービス（有償）もございます。ご希望の際はお問い合わせください。
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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67-8063-76
オスミウム・プラズマコーター
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67-8063-77
オスミウム・プラズマコーター オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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