67-6870-71 水晶板 金 6MHz 12枚入 UCR-6MAU-12
[ULVAC, Inc.] Crystal Plate Gold 6 MHz 12 Pieces Included
特徴
- 輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。
- シャッタ開閉時のふらつきや熱衝撃の変化が小さく、レート安定性も良いので長寿命。
- マルチセンサ（CRTS-12NS）対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です（特許6802937号）
仕様
- 発振周波数：6MHz
- 電極材質：Au（金）
- 電極表面：標準仕上げ
- 外径寸法：Φ14
- 対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般
- 用途：メタル膜、光学膜
- 塔載可能センサ：CRTSシリーズ（シングルセンサ、マルチセンサ）全て
- 入数：12枚1組
- 荷姿サイズ：340×320×290mm [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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65-0279-19
水晶板 銀 4MHz 1組（12枚入）
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65-0279-20
水晶板 金 5MHz 1組（12枚入）
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67-6870-71
水晶板 金 6MHz 12枚入
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65-0279-21
水晶板 銀 5MHz 1組（12枚入）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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