67-6448-13　6インチ PE-TEOS（PE-CVD）膜付きウェーハ（1000nm（1μm） 研究用[P（100）,1-100Ω] 片面ミラーDF品 15枚入

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特徴

  • 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

仕様

  • サイズ：4インチシリコンウェハ
  • TEOS（シリコンナイトライド）【PE-CVD】膜厚み：1000nm狙い（データ付き）
  • 直径（mm）：150.0±0.2
  • ウェハー厚（μm）：625±25
  • 製造方法：CZ法
  • 導電型：P型
  • 面方位：100
  • 抵抗値（Ω・cm）：1～100
  • OF長（mm）：47.5±2.5
  • 面状態：ミラー／エッチド
  • パーティクル：ダストフリー
  • TTV（μm）：≦20
  • 数量：15枚（1箱）
  • ※特注対応品
  • その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。
  • 多様な形状加工と表面処理が可能です（例：エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
  • ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
  • ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
  • ※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
  • 荷姿サイズ：200×210×260mm　1.00kg [荷姿サイズについて]
アズワン品番
67-6448-13
入り数
1箱(15枚入)
標準価格
779,000円（税抜）
WEB価格
アズワン在庫 [?]
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商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）

商品イメージ アズワン品番 商品名
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6インチ PE-TEOS（PE-CVD）膜付きウェーハ（600nm 研究用[P（100）,1-100Ω] 片面ミラーDF品 10枚入
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6インチ PE-TEOS（PE-CVD）膜付きウェーハ（800nm 研究用[P（100）,1-100Ω] 片面ミラーDF品 25枚入
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6インチ PE-TEOS（PE-CVD）膜付きウェーハ（800nm 研究用[P（100）,1-100Ω] 片面ミラーDF品 1枚入
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