67-6434-05 ［取扱停止］ダイヤフラム式流量制御バルブ（エアオペレーション駆動）Rc1/4接続タイプ KAFV-101-1-RC-C
[KOJIMA INSTRUMENTS INC.]
特徴
- 特殊溶着構造でコンタミネーション残留なし リークの懸念も不要。
- 低圧損、コンパクト設計です。
- 接流体部材質がPTFEのため、薬液や腐食性ガスに強く、特殊溶着構造でコンタミネーション残留無しの制御バルブです。
- 半導体洗浄装置等、清浄度を要求されるプロセスで使用可能なクリーンバルブです。
仕様
- 対象流体：純水、薬液、腐蝕性ガス等
- CV値：0.175
- 動作差圧：0.05～0.3MPa（G）
- 周囲温度：0～60℃
- 最高使用圧力：1MPa（G）
- 最高使用温度：90℃
- 接流体部材質：PTFE
- 接続：Rc1／4
- 操作部使用圧力：IN0.4～0.6MPa
- 操作部接続：1／8NPT（IN：Xポート、Exh：Yポート）
- 流量範囲（H2O）：0～4L／min
- 荷姿サイズ：210×80×110mm 0.20kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
67-6434-04
ダイヤフラム式流量制御バルブ（エアオペレーション駆動）1/4チューブエンド接続タイプ
|
|
|
67-6434-05
ダイヤフラム式流量制御バルブ（エアオペレーション駆動）Rc1/4接続タイプ
|
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|