67-5952-69 プラズマアッシャー PB600
[Yamato Scientific Co., Ltd.]
特徴
- 大型バレルタイプ
- アッシングに適したDP方式のバレル型です。
- 半導体プロセスに対応します。
- パーソナルユース仕様になります。
- 簡単な設定で、自動運転が可能です。
- 安全機能を充実、非常スイッチ付きです。
仕様
- プラズマモード：DP（ダイレクトプラズマ）
- 電極構造：対向電極方式（分割方式）
- 高周波出力：60～600W連続可変ただし常用は500Wまで
- 発振周波数：13.56MHz水晶発振
- 電力増幅：FET方式
- 制御・表示：液晶タッチパネル
- 同調方式：自動＆手動
- 処理時間設定：1秒～1時間59分59秒
- 反応室：石英製
- 反応室内寸法：径250×長さ350（400）mm
- 反応部温度：デジタル表示
- 反応ガス：O2、CF4他
- パージガス：N2／ドライエアー
- 流量計：2系統 マスフローコントローラ
- 真空計：キャパシタンスマノメータ（0～1333Pa）
- 真空ポンプ：ロータリ真空ポンプ（過負荷保護機構付）約300L/min
- 非常停止スイッチ：前面プッシュ式
- ガス導入口：1個（1/4"SUS製 スウェージロック）
- パージガス導入口：1個（1/4"SUS製 スウェージロック）
- 真空排気口：1個（1SUS製 NW25 フランジ）
- 内寸法（径×奥行）：φ250×350mm
- 外寸法（幅×奥行×高さ）：500×700×720mm ※電源部・真空ポンプ部除く
- 電源容量：三相200V 20A
- 重さ：90kg ※電源部・真空ポンプ部除く
- ※高周波利用設備許可申請が必要です。手続き及びダウンロードについては「総務省 高周波利用設備」でWeb検索願います。
