67-5952-30　小型プラズマ装置　PR200

特徴

• 小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
• RFは200Wの高性能出力タイプです。
• 装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
• 同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。
• プラズマリアクター（アッシング装置）

仕様

• 方式：DP方式バレル型
• 制御部
• 高周波出力：Max.200W
• 発振周波数：13.56MHz
• 同調方式：オートマッチング
• 反応部
• 反応槽：パイレックスφ100×L160mm
• 反応ガス系：1系統（酸素）フローメータ
• 制御系：手動リークバルブ
• 配管系材質：SUS、テフロン
• 付属品：試料棚
• 内寸法（径×奥行）：φ100×160mm
• 外寸法（幅×奥行×高さ）：350×400×500mm
• 備考（寸法）：突起部含まず
• 電源容量：AC100V 14A、ブレーカ容量および電源設備容量 15A
• 重さ：25kg