67-5951-97　空冷式ドライ真空ポンプ 110L/min　PK110G

特徴

• 水分や腐食性ガスを含むバキュームに適しています。
• ルーツ構造の小型ドライポンプです。
• 腐食性ガスにも対応出来るガスケット（特殊フッ素シール）を標準装備しています。
• ガスバラスト機構の標準装備により、水蒸気排気性能は向上しています。（N2バラストはオプション）
• ポンピング部分の非接触構造により、クリーンな真空環境と性能劣化の心配がありません。
• 小排気量～大排気量（1000L／min以上）までラインアップし半導体からバイオまで様々な分野での使用が可能です。
• 無負荷時の運転音は45dB以下（サイレンサー無し）を実現。

仕様

• 方式：非接触ルーツ多段式
• 最大排気速度：110L／min※1
• 到達圧力（ガスバラスト閉時）：5Pa
• 到達圧力（ガスバラスト開時）：35Pa
• 最大水蒸気処理量：135g／h※2
• 付属品：サイレンサー、ガスバラスト弁、特殊フッ素シール
• 接続口径（吸気口／排気口）：NW25／NW25
• 外寸法（幅×奥行×高さ）：196×360×196mm
• 電源容量：100V-240V（単相）
• 定格出力：0.5KVA
• 重さ：19kg
• ※1.ガスバラスト機構未使用時の数値です。
• ※2.ガスバラストバルブ（オプション仕様）開時の最大処理量です。
• 電源ケーブルは別途ご準備ください。