67-5823-95　マイクロスキャニングステージ 種別：顕微鏡用自動化製品　MSS-H200AD

特徴

• FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。
• 高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。
• 繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内（約Φ0.1mm）の位置再現性も十分にあります。
• 中央精機社製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
• ボールねじとクロスローラガイドの採用で精度の妥協はしていません。
• 原点センサ（フォトセンサ）を標準装備し、高精度な原点復帰が可能です。リミットセンサも標準装備しています。
• クローズドループ制御で高速・急停止・短時間整定が可能なステッピングモーターαSTEPを搭載したFA用途向け製品です。（αSTEPは日本その他の国におけるオリエンタルモーター株式会社の登録商標です。）

仕様

• 種別：顕微鏡用自動化製品
• 種類：XYステージ
• 周囲温度／湿度：10～40℃／20～80％（非結露）
• RoHS指令対応状況：RoHS指令適合品（2023年7月時点）
• セット品（種類）：3
• ステージ面：356mm×356mm
• 主要材質/表面処理：アルミ合金／黒アルマイト梨地