67-5067-11 Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies 978-0-12-817786-0
仕様
- 編者：Tilli, Markku/Paulasto-Krockel, Mervi/Motooka, Teruaki/Petzold, Matthias/Theuss, Horst/Lindroos, Veikko
- 叢書名：Micro and Nano Technologies
- 和文：シリコンMEMS材料と関連技術ハンドブック 第3版
- 装丁：Paper
- 頁数他：1026 p.
- 発行日：2020/05/01
- 分類：ＭＥＭＳ
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掲載カタログ情報
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