67-5048-30 Catalytic Chemical Vapor Deposition 978-3-527-34523-6
[(publisher) Wiley-VCH]
仕様
- サブタイトル：Technology and Applications of Cat-CVD
- 著者：Matsumura, Hideki/Umemoto, Hironobu/Gleason, Karen K./Schropp, Ruud E.I.
- 装丁：Hard
- 頁数他：440 p.
- 発行日：2019/04/17
- 分類：薄膜プロセス
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掲載カタログ情報
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