特徴
- エレメント交換が可能なカートリッジタイプ、SFA100、200、300、SFB100に対応です。
- 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ、SFB300、SFC100対応です。
仕様
- 使用圧力：Max.0.99MPa、真空：1.3×10-6kPa
- ろ過度（μm）：0.01
- 接続：URJ3/8
- 定格流量（L/min）：240
- カートリッジタイプ
- 材質／仕上：ケース：SUS316
- 質量：490g
- 原産国：日本
- コード番号：118-2509
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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