特徴
- エレメント交換が可能なカートリッジタイプ、SFA100、200、300、SFB100に対応です。
- 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ、SFB300、SFC100対応です。
仕様
- 使用圧力：Max.0.99MPa、真空：1.3×10-6kPa
- ろ過度（μm）：0.01
- 接続：URJ1/4
- 定格流量（L/min）：45
- カートリッジタイプ
- 材質／仕上：ケース：SUS316
- 質量：140g
- 原産国：日本
- コード番号：118-2481
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|