特徴
- エレメント交換が可能なカートリッジタイプ、SFA100、200、300、SFB100に対応です。
- 半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ、SFB300、SFC100対応です。
仕様
- ろ過精度（μm）：0.01
- 適合機種：SFB10102
- 使用圧力（MPa）：0.99
- 処理空気流量（m3/min）：0.03
- 接続口径：Rc1/4
- 全長（mm）：66
- カートリッジタイプ
- 材質／仕上：SUS316
- 質量：150g
- 原産国：日本
- コード番号：118-5599
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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