65-3738-13　6インチ（SEMI）シリコンウェハ 研究用 [ノンドープ（100）,高抵抗（≧20000Ω）] 両面ミラーDF品 25枚

仕様

• サイズ：6インチ（SEMI）シリコンウェハ
• 直径（mm）：150.0±0.2
• ウェハー厚（μm）：675±25
• 製造方法：FZ法
• 導電型：P型
• 面方位：100
• OF方位：110
• 抵抗値（Ω・cm）：≧20000
• OF長（mm）：57.5±2.5
• 面状態：ミラー/ミラー
• パーティクル：≧0.3μm,≦20個
• TTV（μm）：≦25
• 数量：25枚（1箱）
• ※特注対応品：
• 方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
• 多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
• ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
• ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
• 1stオリフラ有り、2ndオリフラ無し
• 荷姿サイズ：200×210×260mm　1.50kg [荷姿サイズについて]