65-3532-93 熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ 付き 0～500℃ 絶縁被覆材質：アルミナ繊維スリーブ Kタイプ 校正証明書（校正温度ポイント100、200、300、400、490℃）+トレサビリティ体系図 AW-0505K-A-TS1-ANP
[ANRITSU METER CO., LTD.] Silicon Wafer with Thermocouple AW Series with ISO Document Set 0~500°C Insulating Coating Material: Alumina Fiber Sleeve K Type
特徴
- AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な"熱電対付きシリコンウェーハ"です
- 【用途】シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
仕様
- 使用温度範囲（℃）：0～500
- 100～200℃における許容差（℃）：±5.0
- 熱電対の種類：Kタイプ
- ウェーハサイズ（インチ）：5
- センサ点数：5
- 絶縁被覆材質：アルミナ繊維スリーブ
- コードの長さ（m）：1
- プラグ形状：ミニプラグ
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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