65-1829-81 差動排気系キット付 質量分析計 Qulee with YTP-H
[ULVAC, Inc.] Mass Spectrometer with Differential Exhaust System Kit
特徴
- コストパフォーマンス抜群の高感度仕様 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析(RGA)までを1台で対応可能
- コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
- 表示部一体型の設計
- PCレスでも測定可能
- 簡単操作OneClick機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要)
- 低騒音:運転音が43dB(A)以下の低音設計
- リークテスト機能の充実
- ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
- Ethernet対応Qulee QCS(Ver.4)付属ソフトウェアが標準搭載(Windows7/8/10)
仕様
- ガス分析計本体:QuleeBGM2-202
- 最大サンプリング圧力:1Pa
- 真空仕様ガス導入系(3000~1Pa仕様):手動ベローズバルブ(2系統)・取合フランジICF070
- 測定質量範囲:1~200amu(BGM2-202)
- 排気ユニットDesktopYTP(YTP70A-D)-AC
- ターボ分子ポンプ:排気速度70L/s(N2)
- YTPドライポンプ:排気速度20L/min(ダイヤフラム型)
- 到達圧力:10-6Pa台
- 入力電圧:単相AC100~240V,300W
- ソフトウェア:QuleeQCSVer.4.0以降(Windows7/8/10対応)
- ※使用用途の確認が必要な商品のため、使用用途をご連絡ください。