65-0279-33 マルチイオンゲージ シリアル通信仕様 M-45(NW-25)付き SH200-R

[ULVAC, Inc.] With Multi Ion Gauge Serial Communication Specification M-45 (NW-25)

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特徴

  • 異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ』シリーズです。
  • B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。
  • 従来の、広範囲の圧力測定、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。
  • 異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
  • コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)
  • ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
  • フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
  • 広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~5×10-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
  • 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

仕様

  • 仕様:シリアル通信仕様
  • 接続可能センサ:マルチイオンゲージセンサ/1本、ピラニゲージSWU10-R/1本(オプション)、大気圧センサSAU/1本(オプション)
  • 繰返精度(N2):SH200単体モード:±2%
  • サンプリング時間:60ms 5回の移動平均処理
  • 測定値出力
  • 出力電圧:DC0~10V LOG出力 0.75V/1桁
  • 圧力換算式:V=7.25+0.75×(LogP-2)P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
  • 更新時間:60msec
  • シリアル通信仕様:RS232C/RS-485
  • LED表示
  • POWER/ERROR:パワー、エラーLED(各モードにより点滅状態が変化)
  • エミッション電流:1mA(1×10-3Pa以下)、10μA(1×10-3Pa以上)
  • DEGAS:電子衝撃脱離方式(エレクトロンボンバード)1mA、330V
  • センサ耐圧:2×10+5Pa(絶対圧) ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
  • センサ内容積:19cm3
  • 使用温度範囲:10~50℃
  • 使用湿度範囲:15~80%(ただし、結露なきこと)
  • 保管温度:-20~65℃(非通電時、結露なきこと)
  • IP保護等級:IP30
  • 電源電圧:DC20~28V(リップル、ノイズ1%以下)、8W以下
  • 入出力コネクタ:D-sub15ピン(M2.6ネジ)
  • 質量:コントローラ/約280g、測定子/80g
  • 外形寸法(コントローラ部):W69mm×D63mm×H90mm
  • 適合規格:CE
アズワン品番
65-0279-33
型番
SH200-R
入り数
1セット
標準価格
150,000円(税抜)
WEB価格
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